수치해석에 의한 글로우 및 코로나 방전의 특성(特性)에 대한 연구
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작성일 23-01-08 22:22
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제 4 장은 상압 비평형 플라즈마인 코로나 방전에서의 화학반응을 0 차원 모델로 해석하는 기법과 해석 결과를 서술하였다. 식(2-1)의 va와 Sa를 구하는 방법에 따라 플라즈마 해석식은 비평형식과 평형식으로 분류된다 비평형식은 식(2-3,4)와 같이 운동방정식과 에너지식을 사용하여 입자의 속도와 전자의 에너지를 구하고, Sa는 전자의 에너지 분포를 멕스웰 분포로 가정하여 각 입자의 충돌계수로부터 구한다. 제 5장은 2차원 축대칭 모델을 이용한 코로나 방전 초기의 래디칼 생성 특성(特性)에 대해 서술하였다. 제 2 장은 비평형 플라즈마 해석에 필요한 연속방정식과 화학反應(반응)식에 대해 서술하였고 수치해석 기법을 intro 하였다. τma, τε는 운동량과 에너지의 이완시간(relaxation time) 이다. 이와 같은 이유는 방전 유지를 위해 인가된 에너지가 질량이 큰 이온들 보다는 전자로 전달되기 때문이다
평형식은 Local Field 근사법을 이용하여 운동…(drop)
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본 논문은 총 6 장으로 구성되어 있으며 비평형 플라즈마에 대한 해석모델과 수치해석 기법에 대해 서술하고, 각 응용 분야에 대한 수치해석 결과를 제시하였다. 제 6 장에서는 conclusion 을 서술하였다. 제 6 장에서는 결론을 서술하였다. Sa는 전자 또는 광자와 기체입자와의 충돌, 재결합, 화학reaction response 등을 포함하여 모든 입자의 생성 및 소멸 reaction response을 나타내는 항이다.
다. 제 3 장은 반도체 식각장치에 사용되는 저압 유도결합 플라즈마에 대한 해석 방법 및 결과를 서술하였다. 제 4 장은 상압 비평형 플라즈마인 코로나 방전에서의 화학反應(반응)을 0 차원 모델로 해석하는 기법과 해석 결과를 서술하였다. 제 3 장은 반도체 식각장치에 사용되는 저압 유도결합 플라즈마에 대한 해석 방법 및 결과를 서술하였다. , 수치해석에 의한 글로우 및 코로나 방전의 특성에 대한 연구공학기술레포트 ,
설명
제 1 장 서론
제 2 장 플라즈마 수치해석
2.1 플라즈마 해석식
2.1.1 플라즈마 유체해석식
2.1.2 플라즈마 화학reaction response
2.2 수치해석 기법
2.2.1 연속방정식
2.2.2 Poisson 방정식
2.2.3 화학 방정식
2.2.4 계산시간 간격(Δt)
제 3 장 저압 유도결합 플라즈마 해석
3.1 해석모델
3.2 플라즈마 해석
3.3 전자장 해석
3.3.1 전자장 해석식
3.3.2 플라즈마 등가회로의 임피던스 계산
3.4 해석 결과
제 4 장 펄스코로나 방전에서의 0차원 화학reaction response 해석
4.1 수치해석 모델 및 기법
4.1.1 펄스 코로나
4.1.2 화학reaction response 해석
4.2 해석 결과
4.2.1 가스 조성비에 따른 방전特性(특성)
4.2.2 펄스 코로나에 의한 래디칼 생성
4.2.3 NOx 제거 特性(특성)
제 5 장 정극성 스트리머 코로나 방전 特性(특성)
5.1 코로나 모델
5.2 해석결과
5.2.1 평판-평판 모델
5.2.2 평판-구 모델
제 6 장 conclusion(결론)
플라즈마 수치해석은 몬테칼로, PIC(Particle In Cell)과 같이 전자장 내에서 각 입자들의 운동방정식을 계산하여 구하는 방법과 유체식을 해석하는 방법으로 나눌 수 있따 몬테칼로와 PIC는 계산 양이 방대하여 최근의 계산속도 향상에도 불구하고 제한적으로 사용되고 있따 유체식을 사용하는 방법은 상대적으로 계산 양이 적어 다양한 해석에 사용되고 있따 특히 대기압에서 발생하는 코로나 방전의 경우 하전입자와 중성기체 간의 충돌주파수가 너무 높아 몬테칼로와 PIC는 아직 사용되지 않고 있따 본 장에서는 플라즈마 해석에 사용되는 유체 해석식과 화학reaction response식을 紹介(소개)하고 각 식들의 수치해석기법을 논의하고자 한다.레포트/공학기술
수치해석에 의한 글로우 및 코로나 방전의 특성(特性)에 대한 연구
,공학기술,레포트
순서
본 논문은 총 6 장으로 구성되어 있으며 비평형 플라즈마에 대한 해석모델과 수치해석 기법에 대해 서술하고, 각 응용 분야에 대한 수치해석 결과를 제시하였다. 제 2 장은 비평형 플라즈마 해석에 필요한 연속방정식과 화학반응식에 대해 서술하였고 수치해석 기법을 소개하였다. ma, qa와 Pa는 각 입자의 질량, 전하량, 압력이고 ε은 전자의 에너지이다.
2.1 플라즈마 해석식
2.1.1 플라즈마 유체 해석식
플라즈마 유체 해석식은 식(2-1,2)와 같이 기본적으로 각 입자의 연속 방정식(continuity equation)과 Poisson 방정식으로 구성되어 있따 첨자 a는 전자, 양이온, 음이온들을 나타내며 na는 입자의 밀도, va는 입자의 속도이다. 제 5장은 2차원 축대칭 모델을 이용한 코로나 방전 초기의 래디칼 생성 특성에 대해 서술하였다. 식(2-4)는 통상 전자에 마주향하여 만 사용하고 나머지 입자들은 중성기체의 온도 혹은 일정한 온도로 가정한다.
